BT-2003 安裝在 PVD/CVD 製程設備, 用於及時監督 Robot, Stepping Motor, Servo Motor, Cylinder 的運動, 當設備有異常前都會有異常的振動現象, BT-2003 能自動指示設備異常的Part, 使工程師很方便地尋找問題源頭, 及預防無預警停機. 使晶圓片製程的Failure Rate 降至最低。

  • BT-2003 安裝在 PVD/CVD 製程設備
 
  • BT-2003 安裝在 PVD/CVD 製程設備(Real-Time)
 
  • Good Robot Vibration Level
 
  • Bad Robot Vibration Level
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